Die mit dem Koordinatographen hergestellten Maskenvorlagen werden auf fotografischem Weg verkleinert und mehrfach wiederholt, so daß eine Fotomaske eine große Anzahl gleichartiger Strukturen aufweist. Dadurch können auf einer Siliziumscheibe gleichzeitig viele Halbleiterschaltungen auf einmal hergestellt werden.
Als Beispiel der verwendeten Fotomasken zeigt das Bild eine Leitbahnmaske.
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